- 電界放出形透過電子顕微鏡(JEOL LEM-2100F)
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[用途の概要]
切片、薄膜の透過像観察用の高分解能透過型電子顕微鏡です。
[仕様]
- 分解能
- 0.14nm
- 加速電圧
- 140〜200KV
- 倍率
- 1,000倍〜800,000倍
- 試料
- サイドエントリー方式
- 電子線源
- 電界放出形アノード
[注意事項]
- 習熟するまではセンターの認定する利用者について操作を教わってください。
- 試料交換の際の試料ホルダーの出し入れは水平に行って下さい。
- 試料ホルダーの先端部には絶対に手を触れないで下さい。又、先端部をぶつけないで下さい。
- 試料ホルダーを試料ステージにセットする前に必ず試料ホルダーの周りにゴミ、埃等の付着物が無いか確認してください。
- 撮影データの取り出しはUSBフラッシュメモリで行って下さい。
[設置年度]
2016年度
- 走査型電子顕微鏡 (日本電子 JSM-6510)
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モニタを良く見てそれらしいところをクリックしていくだけで、びっくりするほど簡単に使える小型走査電顕です。CCDカメラでステージの写真を撮りモニタ上でナビゲーションできますから、慣れない人でもどこを見てるか一目瞭然ですね。
[仕様]
- 分解能
- 3nm (30KV)〜15nm (1KV)
- 倍率
- x5〜x300,000
- 加速電圧
- 0.5〜30KV
- 低真空モード
- 10Pa〜270Pa
[注意事項]
- 操作の指導などが必要な場合は、担当者までご連絡下さい。
- 試料交換の際は試料室汚染防止にご注意ください。
- 撮影データの取り出しはUSBフラッシュメモリで行って下さい。
[設置年度]
2009年度
- 真空蒸着機 (日立 HUS-5GB)
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[用途の概要]
電子顕微鏡の試料作製のための切片、薄膜のカーボン補強、金属薄膜の作製及びシャドウイング等々、汎用に使える最も基本的な真空蒸着機です。
[仕様]
- 到達真空度
- 7.5x10-8Pa
- 蒸着用電源
- 100V、30A
- 電極数
- 内部2組
[注意事項]
- 全手動型です。様子を見ながらゆっくりバルブ操作をしないと破綻します。
- 超ミクロトーム (Leica EM UC7)
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[用途の概要]
透過電子顕微鏡の試料作製機器で、樹脂包埋した試料を超薄切するのに用います。
[仕様]
- 試料送り量
- 5nm〜15µm
- 切削速度
- 0.05〜100mm/s
- 切削範囲
- 0.1〜14mm
[利用方法]
- 試料ホルダーの押さえネジを締め過ぎないようにして下さい。ネジ山がつぶれる恐れがあります。
- 使用後はミクロトームや機器の周りをきれいにして下さい。
